Fast simulation of electro-thermal MEMS : efficient dynamic compact models /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Outros Autores: | , |
| Formato: | Livro |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Berlin ; New York :
Springer,
2007.
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| coleção: | Microtechnology and MEMS,
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Table of contents only |
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