Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA, 1987 /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Korporace: Topical Conference on Deposition and Growth. Limits for Microelectronics (, American Institute of Physics., American Vacuum Society National Symposium (
Další autoři: Rubloff, G. W.
Médium: Kniha
Jazyk:English
Vydáno: New York : American Institute of physics, 1988.
Edice:Conference proceedings (American Institute of Physics) ; no.167.
Témata:
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!