Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing : film formation, adhesion, surface preparation and contamination control /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Westwood, N.J. :
Noyes Publications,
1998.
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Publisher description Table of contents |
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