Optical inspection of microsystems /

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Osten, Wolfgang.
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis, 2007.
Schriftenreihe:Optical science and engineering ; 109.
Schlagworte:
Online Zugang:Publisher description
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