Introduction to Microsystem Design

The book describes the design of micro systems systematically as well as the equations needed for an estimation of the basic elements. It can be used without knowing fabrication processes of micro systems and provides the basic equations needed to calculate the effects and forces which are important...

תיאור מלא

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Schomburg, Werner Karl. (Author, http://id.loc.gov/vocabulary/relators/aut)
מחבר תאגידי: SpringerLink (Online service)
פורמט: אלקטרוני ספר אלקטרוני
שפה:English
יצא לאור: Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg : Imprint: Springer, 2011.
מהדורה:1st ed. 2011.
סדרה:RWTHedition, 1
נושאים:
גישה מקוונת:https://doi.org/10.1007/978-3-642-19489-4
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
תוכן הענינים:
  • Preface
  • Notations and symbols
  • Introduction
  • Scaling Laws
  • Elastic deformations
  • Thin Films
  • Conductor Paths
  • Membranes
  • Strain gauges on membranes
  • Beams
  • Vibrations
  • Capillaries
  • Capacitive forces
  • Piezoelectric effect
  • Thermal actuators
  • Micro optics
  • Diffusion
  • Micro valves
  • Micro pumps
  • Micro dosing
  • Analogies between physical domains
  • Mechanical devices for electronics
  • Pressure sensors
  • Flow sensors
  • Inertial sensors.