Film deposition by plasma techniques /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | English |
| Publicado em: |
Berlin :
Springer-Verlag,
1992.
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| Colecção: | Springer series on atoms + plasmas ;
V.10. |
| Assuntos: | |
| Tags: |
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